在半导体与洁净制造场景中，润滑剂的价值已不再只是降低磨损，而是尽量不成为污染源。挥发、析出、颗粒和残留之所以被高度关注，本质上是因为它们会直接影响工艺环境、设备一致性和长期可控性。本文从洁净制造的真实边界出发，分析这类润滑方案为什么最怕的不是磨损，而是对系统的额外扰动。很多人一提到润滑，第一反应还是···
